氦氮混气、、、、氙氢混气、、、、氧氦混气、、氪氖混气、、氩氙氖混气等
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氦氮混气、、氙氢混气、、、氧氦混气、、、氪氖混气、、、氩氙氖混气等

纯度规格:6N

用途:刻蚀、、退火、、、光刻等

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、、、显示面板、、、光纤

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产品详情

混合气主要应用于大规模集成电路和显示面板制造过程中的光刻、、、、退火等多个工艺,,基于自身掌握的纯化和混配技术,,,混合气产品组分纯度可达6N,,结合客户的个性化需求,,,,目前已实现30余种电子混合气的量产供应。。。。

包括:氦氮混气、、、氙氢混气、、、、氧氦混气、、、氪氖混气、、、、氩氙氖混气等。。

以品质为基石,,,,开拓全球市场

目前,,传递者智能公司拥有单条年产能超过3000吨的高纯三氟化氮气体生产线,,,拥有高纯六氟化钨规模化生产线,,拥有三氟甲磺酸系列产品研发生产基地,,,建设了高纯钨制品中试生产线,,实现了企业大宗制气的技术突破,,已成为国内特气行业产品系列丰富、、、生产能力大、、、、市场覆盖面和占有率高、、、持续创新能力强的企业。。。。

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公司主要从事电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品的研发、、、、生产和销售,,,主要产品包括高纯三氟化氮、、、高纯六氟化钨、、、高纯氯化氢、、、、高纯氟化氢、、高纯四氟化硅、、、、高纯氘气、、、、高纯六氟丁二烯、、高纯八氟环丁烷、、高纯电子混合气等电子特种气体,,,,以及三氟甲磺酸、、、三氟甲磺酸酐、、、、双(三氟甲磺酰)亚胺锂等含氟新材料。。


三氟化氮

化学式:NF3

纯度规格:5N

主要用途:清洗、、、刻蚀

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、、、、 显示面板


六氟化钨

化学式:WF6

纯度规格:6N

用途:沉积

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)


氯化氢

化学式:HCl

纯度规格:5N

用途:清洗、、、、刻蚀

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)


氟化氢

化学式:HF

纯度规格:5N

用途:清洗、、、、刻蚀

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)

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